• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Selektive Si1-xCx-Epitaxie für den Einsatz in der CMOS-Technologie
  • Beteiligte: Ostermay, Ina [VerfasserIn]
  • Erschienen: 2013
  • Umfang: 141 S.; graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • RVK-Notation: ZN 4160 : Epitaxieverfahren
  • Schlagwörter: Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2013
  • Anmerkungen:

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