Ferroelektrische Nanopartikel für elektronische Bauelemente

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Ferroelektrische Nanopartikel für elektronische Bauelemente
Beteiligte: Waegner, Martin [Verfasser:in]
Erschienen: Dresden: TUDpress, Verl. der Wiss., 2013
Erschienen in: Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 48
Umfang: XXIV, 135 S.; Ill., graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 9783944331256
RVK-Notation: ZN 3430 : Ferroelektrische Werkstoffe; Piezoelektrika
Schlagwörter: PZT > Magnetronsputtern > Nanolithografie > Dünne Schicht > Nanostrukturiertes Material > Herstellung
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2013
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Dresdner Beiträge zur Sensorik

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