Geometrie-Charakerisierung von Halbleiter-Mikrostrukturen mittels Infrarot-Strahlung

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Geometrie-Charakerisierung von Halbleiter-Mikrostrukturen mittels Infrarot-Strahlung
Beteiligte: Krupinski, Martin [Verfasser:in]
Erschienen: 2014
Umfang: 120 S.; Ill., graph. Darst
Sprache: Deutsch
RVK-Notation: ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein
ZN 4030 : Prüfverfahren in der Technischen Elektronik allgemein; Fehlererkennungsschaltungen; Test elektronischer Schaltungen und Bauelemente
Schlagwörter: Hochschulschrift
Entstehung:
Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2014
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