Haag, Jana
[VerfasserIn]
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Technische Universität Dresden
Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) von siliziumoxidhaltigen Haftvermittlerschichten auf Ti15V3Cr3Sn3Al- und Ti6Al4V-Legierungen bei Atmosphärendruck
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) von siliziumoxidhaltigen Haftvermittlerschichten auf Ti15V3Cr3Sn3Al- und Ti6Al4V-Legierungen bei Atmosphärendruck
Paralleltitel:
Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) of organosilicon films for adhesion promotion on Ti15V3Cr3Sn3Al and Ti6Al4V alloys at atmospheric pressure