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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Ein Beitrag zur Simulation der Elektronenstreuung und zur Kompensation des Proximity-Effekts in der Elektronenstrahl-Lithographie Beteiligte: Vierhaus, Heinrich Theodor [VerfasserIn] Erschienen: 1983 Umfang: 132 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch Schlagwörter: Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Siegen, Gesamthochsch., Diss., 1983 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0984 00794 001 Barcode: 32389218 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung