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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchungen zur Einsatzfähigkeit anorganischer Dielektrika als Elektretschicht in mikromechanischen Wandlern Beteiligte: Amjadi, Houman [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 1999 Erschienen in: Berichte aus der Mikromechanik Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XVII, 222 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3826561430 RVK-Notation: ZN 4980 : Mikrocontroller, Signalprozessoren Schlagwörter: Elektroakustischer Wandler > Elektret > Dünne Schicht > Siliciumnitrid > Siliciumdioxid > Siliciumoxinitride Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1999 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 1999 8 029626 001 Barcode: 10085829 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.