Proceedings of the First International Symposium on Electrochemical Microfabrication: ... held Octob… - SLUB Dresden

Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Proceedings of the First International Symposium on Electrochemical Microfabrication : [... held October 14 - 16 in Phoenix, Arizona ...]
Beteiligte: Datta, Madhav [Herausgeber:in]; Sheppard, Keith [Herausgeber:in]; Snyder, Dexter D. [Herausgeber:in]
Körperschaft: Electrochemical Society, Electrodeposition Division
Erschienen: Pennington, N.J.: Electrochemical Society, 1992
Erschienen in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 92,3
Umfang: IX, 393; Ill., graph. Darst
Sprache: Englisch
ISBN: 1566770025; 1566770025
RVK-Notation: VE 6300 : Allgemeines
Schlagwörter: Microelectronics ; Congresses ; Electrochemistry, Industrial ; Masks (Electronics) ; Silicon ; Microfabrication ; Konferenzschrift
Entstehung:
Anmerkungen: Includes bibliographical references and indexes
Weitere Bestandsnachweise
0 : Proceedings volume

Proceedings of the First International Symposium on Electrochemical Microfabrication