• Medientyp: Buch
  • Titel: An introduction to microelectromechanical systems engineering
  • Beteiligte: Maluf, Nadim [VerfasserIn]; Williams, Kirt [VerfasserIn]
  • Erschienen: Boston, Mass. [u.a.]: Artech House, 2004
  • Erschienen in: Microelectromechanical systems series
  • Ausgabe: 2. ed.
  • Umfang: XX, 283 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Englisch
  • ISBN: 1580535909; 9781580535908
  • RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
  • Schlagwörter: MEMS
    Mikromechanik > Mikrosystemtechnik
    MEMS
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Includes bibliographical references and index
  • Beschreibung: Annotation, Now in its second edition, this guide brings readers up-to-date with the latest developments in RF MEMS and photonic MEMS, and how projects may benefit from a MEMS solution

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