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Medientyp: Buch Titel: Ion implantation : science and technology Beteiligte: Ziegler, James F. [Hrsg.] Erschienen: Edgewater: Ion Implantation Technology, 2000 Ausgabe: [Nachdr.] Umfang: VI, 687 S.; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0965420701 RVK-Notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Schlagwörter: Ionenimplantation Entstehung: Anmerkungen: