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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Modelling and diagnostics of low pressure plasma discharges Beteiligte: Scheubert, Peter [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 2002 Erschienen in: Selected topics of electronics and micromechatronics ; 5 Umfang: 128 S.; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 3832208933 RVK-Notation: ZN 4154 : Herstellungsverfahren Schlagwörter: Niederdruckplasma > ICP > Plasmadiagnostik > Langmuir-Sonde > Hydrodynamisches Modell Niederdruckplasma > ICP > Plasmadiagnostik > Langmuir-Sonde > Hydrodynamisches Modell Halbleiter > Niederdruckplasma > Niederdruckentladung > ICP > Hydrodynamik > Mathematisches Modell Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2001 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Selected topics of electronics and micromechatronics