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Medientyp: Buch Titel: Electron-beam technology in microelectronic fabrication Beteiligte: Brewer, George R. [Hrsg.]; Ballantyne, J. P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: New York, NY [u.a.]: Acad. Press, 1980 Umfang: XI, 362 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 012133550X RVK-Notation: ZN 4900 : Allgemeines Schlagwörter: Mikroelektronik > Elektronenstrahllithografie Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographies and index