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Medientyp: Buch Titel: Transport in laser microfabrication : fundamentals and applications Beteiligte: Grigoropoulos, Costas P. [Verfasser:in] Erschienen: Cambridge [u.a.]: Cambridge Univ. Press, 2009 Ausgabe: 1. publ. Umfang: XII, 400 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9780521821728 RVK-Notation: ZN 4176 : Elektronenstrahl- und Lasertechnologien Schlagwörter: Laser > Mikrofertigung Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index