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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Der Einfluß thermischer Spannungen auf die Defektstruktur in heteroepitaktischen Halbleiterfilmen Beteiligte: Roos, Bernd [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 35800 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: 127 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3183358050 Schlagwörter: Halbleiterschicht > Heteroepitaxie > Silicium > Substrat > Grenzfläche > Mechanische Spannung Halbleiterschicht > Heteroepitaxie > Silicium > Substrat > Grenzfläche > Mechanische Spannung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994 Anmerkungen: Literaturverz. S. 121 - 127 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5