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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Modeling and computer simulation of ion beam synthesis of nanostructures Beteiligte: Strobel, Matthias [Verfasser:in] Erschienen: 1999 Erschienen in: Forschungszentrum Rossendorf: Wissenschaftlich-technische Berichte ; 277 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: RVK-Notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Schlagwörter: Computersimulation ; Ionenimplantation ; Nanostrukturiertes Material ; Forschungsbericht ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 1999 Anmerkungen: Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz