• Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
  • Titel: Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology
  • Beteiligte: Rinderknecht, Jochen [VerfasserIn]
  • Erschienen: 2005
  • Umfang: Online-Ressource
  • Sprache: Englisch
  • Identifikator:
  • RVK-Notation: UP 7560 : Metallische Schichten, Metall-Halbleiter-Kontakt
  • Schlagwörter: CMOS ; Dünne Schicht ; Mikroprozessor ; Schichtdicke ; Silicide ; Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2005
  • Anmerkungen:
  • Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW
  • Zugangsstatus: Freier Zugang
  • Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz