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Medientyp: E-Book Titel: Niedertemperaturdiffusion von Siliziumverunreinigungen Werktitel: Nizkotemperaturnaja diffuzija primesej v kremnii <dt.> Uskov, Anatolij V.: Nizkotemperaturnaja diffuzija primesej v kremnii <dt.> Beteiligte: Uskov, Anatolij V. [Verfasser:in]; Erofeeva, E. A. [Verfasser:in]; Lineva, N. A. [Verfasser:in]; Pertschi, Ottmar [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: 1985 Online-Ausg., Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008 Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Silicium ; Diffusion Art der Reproduktion: Online-Ausg. Hersteller der Reproduktion: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008 Entstehung: Anmerkungen: Originaltext erschienen in: Liegirovannye poluprovodniki ; 1982, S. 110 - 114 Zugangsstatus: Freier Zugang