• Medientyp: E-Book
  • Titel: Niedertemperaturdiffusion von Siliziumverunreinigungen
  • Werktitel: Nizkotemperaturnaja diffuzija primesej v kremnii <dt.>
    Uskov, Anatolij V.: Nizkotemperaturnaja diffuzija primesej v kremnii <dt.>
  • Beteiligte: Uskov, Anatolij V. [Verfasser:in]; Erofeeva, E. A. [Verfasser:in]; Lineva, N. A. [Verfasser:in]; Pertschi, Ottmar [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
  • Erschienen: 1985
    Online-Ausg., Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008
  • Sprache: Deutsch
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Silicium ; Diffusion
  • Art der Reproduktion: Online-Ausg.
  • Hersteller der Reproduktion: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Originaltext erschienen in: Liegirovannye poluprovodniki ; 1982, S. 110 - 114
  • Zugangsstatus: Freier Zugang