Ionenstrahlgestützte Schichtabscheidung von Ag und Ge - Zusammenhang zwischen den Eigenschaften des Ionenstrahls, der schichtbildenden Teilchen und der abgeschiedenen Schichten
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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Ionenstrahlgestützte Schichtabscheidung von Ag und Ge - Zusammenhang zwischen den Eigenschaften des Ionenstrahls, der schichtbildenden Teilchen und der abgeschiedenen Schichten