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Engelhardt, Josh [Verfasser:in]; Fitzky, Gabriel [Verfasser:in]; Hahn, Giso [Verfasser:in]; Terheiden, Barbara [Verfasser:in]

Study on the Characteristics of ICP-PECVD Boron Silicate Glasses Dependent on Diborane Flux

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  • Medientyp: E-Book
  • Titel: Study on the Characteristics of ICP-PECVD Boron Silicate Glasses Dependent on Diborane Flux
  • Beteiligte: Engelhardt, Josh [Verfasser:in]; Fitzky, Gabriel [Verfasser:in]; Hahn, Giso [Verfasser:in]; Terheiden, Barbara [Verfasser:in]
  • Erschienen: Konstanz: Bibliothek der Universität Konstanz, 2016
  • Umfang: 1 Online-Ressource
  • Sprache: Englisch
  • Identifikator:
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Aus: ECS Journal of Solid State Science and Technology ; 5 (2016), 10. - S. N81-N89. - ISSN 2162-8769. - eISSN 2162-8777
  • Zugangsstatus: Freier Zugang