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Medientyp: Buch Titel: Flash lamp annealing : from basics to applications Beteiligte: Rebohle, Lars [VerfasserIn]; Prucnal, Slawomir [VerfasserIn]; Reichel, Denise [VerfasserIn] Erschienen: Cham, Switzerland: Springer, [2019] Erschienen in: Springer series in materials science ; 288 Umfang: xviii, 288 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Englisch DOI: 10.1007/978-3-030-23299-3 ISBN: 9783030232986; 3030232980; 9783030233013 Identifikator: RVK-Notation: ZM 7680 : Bedampfen allgemein, PVD-Verfahren Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Springer series in materials science