Pyper, Oliver
[Verfasser:in];
Schulz, Jörg
[Verfasser:in];
Hebner, Anja
[Verfasser:in];
Albrecht, Jan
[Verfasser:in];
Weder, Andreas
[Verfasser:in];
Koch, Sandro
[Verfasser:in];
Heinig, Andreas
[Verfasser:in];
Wendland, Georg
[Verfasser:in];
Maurer, Wilhelm
[Verfasser:in];
Grzelak, Dominik
[Verfasser:in];
Müller, Jens
[Verfasser:in]
;
Infineon Technologies Dresden,
Dr. Födisch Umweltmesstechnik AG,
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme,
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme,
IMA Materialforschung und Anwendungstechnik GmbH,
Infineon Technologies AG,
Technische Universität Dresden,
XENON Automatisierungstechnik GmbH