Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie: = Microstructuring of preceramic polymers using UV- and deep X-ray lithography

Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
Titel: Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie
Paralleltitel: Microstructuring of preceramic polymers using UV- and deep X-ray lithography
Beteiligte: Schulz, Michael [Verfasser:in]
Körperschaft: Institut für Materialforschung
Erschienen: Karlsruhe: Forschungszentrum Karlsruhe, November 2003
Erschienen in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 6901
Ausgabe: Als Manuskript gedruckt
Umfang: 1 Online-Ressource (69 Seiten, 1.151 KB); Illustrationen, Diagramme
Sprache: Deutsch
Schlagwörter: Siliciumorganische Verbindungen > Lithografie > Ausgangsmaterial > Pyrolyse > Nichtoxidkeramik > Rapid Prototyping
Entstehung:
Hochschulschrift: Dissertation, Universität Freiburg, 2003
Anmerkungen: Literaturverzeichnis: Seite 169-173
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Sprache der Zusammenfassungen: Deutsch, Englisch
Zugangsstatus: Freier Zugang

Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie - [Als Manuskript gedruckt]