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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Erweiterungen der Scatterometrie zur modellbasierten optischen Nanometrologie von Halbleiterstrukturen Beteiligte: Ferreras Paz, Valeriano [Verfasser:in] Körperschaft: Universität Stuttgart Erschienen: Stuttgart: Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart, November 2019 Erschienen in: Universität Stuttgart: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; 100 Umfang: 133 Seiten; Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch ISBN: 9783923560998 Schlagwörter: Halbleiter > Nanostruktur > Lichtstreuung > Optische Messung Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Universität Stuttgart, 2019 Anmerkungen: Text englisch, Kurzzusammenfassung deutsch Weitere Bestandsnachweise 0 : Berichte aus dem Institut für Technische Optik
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 2020 8 009355 Barcode: 32569007 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung