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Medientyp: E-Book; Konferenzbericht Titel: Laser-Based Micro- and Nanoprocessing XIV : 3-6 February 2020, San Francisco, California, United States Beteiligte: Klotzbach, Udo [Herausgeber:in]; Watanabe, Akira [Herausgeber:in]; Kling, Rainer [Herausgeber:in] Körperschaft: SPIE Erschienen: Bellingham, Washington, USA: SPIE, [2020] Erschienen in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 11268 Umfang: 1 Online-Ressource; Illustrationen Sprache: Englisch ISBN: 9781510633001 Schlagwörter: Konferenzschrift Entstehung: Anmerkungen: Teilkonferenz von SPIE LASE 2020 im Rahmen von SPIE Photonics West 2020 Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge Literaturangaben