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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: A novel indirect actuation concept for MEMS micromirrors Weitere Titel: Übersetzung des Haupttitels: Ein Neuartiges Indirektes Aktuierungskonzept für Scannende MEMS-Mikrospiegel Beteiligte: Kaupmann, Philip [Verfasser:in] Körperschaft: Technische Universität Chemnitz Erschienen: Chemnitz, 01.04.2021 Umfang: 1 Online-Ressource (xv, 114 Seiten); Illustrationen, Diagramme Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: MEMS ; Simulation ; Field programmable gate array ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2021 Anmerkungen: Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Verteidigung. - Online publiziert: 07.05.2021 Zugangsstatus: Freier Zugang