Entwicklung einer Methodik zur Vorhersage von Prozesskenndaten für das chemisch-mechanische Polieren in der Halbleiterindustrie

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Entwicklung einer Methodik zur Vorhersage von Prozesskenndaten für das chemisch-mechanische Polieren in der Halbleiterindustrie
Beteiligte: Eckhardt, Nora [VerfasserIn]
Körperschaft: Technische Universität Dresden
Erschienen: Dresden, 02.06.2021
Umfang: 146 Seiten; Illustrationen, Diagramme
Sprache: Deutsch
RVK-Notation: ZN 4154 : Herstellungsverfahren
ZN 4158 : Schichtnachbehandlung
Schlagwörter: Hochschulschrift
Entstehung:
Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2021
Anmerkungen: Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Verteidigung

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