Henke, Thomas
[VerfasserIn]
;
Bartha, Johann W.
[AkademischeR BetreuerIn];
Strehle, Steffen
[AkademischeR BetreuerIn]Technische Universität Dresden
Untersuchungen zum Einsatz des ms-Blitzlampentemperns bei der Atomlagenabscheidung von dünnen Schichten und für die Rekristallisation von amorphem Silizium
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Untersuchungen zum Einsatz des ms-Blitzlampentemperns bei der Atomlagenabscheidung von dünnen Schichten und für die Rekristallisation von amorphem Silizium