Stetten, Felix von
[Mitwirkende:r];
Kuderer, Markus
[Mitwirkende:r];
Gläser, Kerstin
[Mitwirkende:r]
;
Institut für Mikroaufbautechnik,
Institut für Mikro- und Informationstechnik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung,
Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung