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Saggau, Christian Niclaas [VerfasserIn] ; Technische Universität Chemnitz

High quality rolled-up microstructures enabled by silicon dry release technologies

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  • Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
  • Titel: High quality rolled-up microstructures enabled by silicon dry release technologies
  • Weitere Titel: Übersetzung des Haupttitels: Hochqualitative aufgerollte Mikrostrukturen via trockener Silizium Ätztechnologien
  • Beteiligte: Saggau, Christian Niclaas [VerfasserIn]
  • Körperschaft: Technische Universität Chemnitz
  • Erschienen: Chemnitz, 2022
  • Umfang: 1 Online-Ressource (x, 131 Seiten); Illustrationen, Diagramme
  • Sprache: Englisch
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Whispering gallery mode ; Interferenz ; Plasmaätzen ; Kondensator ; Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2022
  • Anmerkungen: Online publiziert: 24.08.2022
  • Zugangsstatus: Freier Zugang