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Kolhep, Maximilian [Verfasser:in]; Sun, Cheng [Verfasser:in]; Bläsing, Jürgen [Verfasser:in]; Christian, Björn P. [Verfasser:in]; Zacharias, Margit [Verfasser:in]

Epitaxial growth of highly textured ZnO thin films on Si using an AlN buffer layer by atomic layer deposition

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  • Medientyp: E-Book; Sonderdruck
  • Titel: Epitaxial growth of highly textured ZnO thin films on Si using an AlN buffer layer by atomic layer deposition
  • Beteiligte: Kolhep, Maximilian [Verfasser:in]; Sun, Cheng [Verfasser:in]; Bläsing, Jürgen [Verfasser:in]; Christian, Björn P. [Verfasser:in]; Zacharias, Margit [Verfasser:in]
  • Erschienen: New York, NY: American Vacuum Society, 2021
  • Erschienen in: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films ; 39, 3 (2021), 032401
  • Umfang: 1 Online-Ressource (6 Seiten); Illustrationen, Diagramme; Supplemental material
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1116/6.0000793
  • Identifikator:
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang