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Wittek, Christian-G. R. [Verfasser:in]; Steinhoff, Lukas [Verfasser:in]; Raumel, Selina [Verfasser:in]; Reißfelder, Michael [Verfasser:in]; Dencker, Folke [Verfasser:in]; Wurz, Marc C. [Verfasser:in]

Process Development for Batch Production of Micro-Milling Tools Made of Silicon Carbide by Means of the Dry Etching Process

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  • Medientyp: E-Book; Sonderdruck
  • Titel: Process Development for Batch Production of Micro-Milling Tools Made of Silicon Carbide by Means of the Dry Etching Process
  • Beteiligte: Wittek, Christian-G. R.. [Verfasser:in]; Steinhoff, Lukas [Verfasser:in]; Raumel, Selina [Verfasser:in]; Reißfelder, Michael [Verfasser:in]; Dencker, Folke [Verfasser:in]; Wurz, Marc C.. [Verfasser:in]
  • Erschienen: Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2023
    Hannover: Technische Informationsbibliothek (TIB), 2023
  • Erschienen in: Micromachines ; 14 (2023), Nr. 3, 580
  • Umfang: 1 Online-Ressource
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.15488/14862
  • Identifikator:
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang