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Medientyp: E-Book Titel: Calibration of positioning microsystems with subatomic accuracy Beteiligte: Hebenstreit, Roman [VerfasserIn]; Theska, René [VerfasserIn] Erschienen: Ilmenau: TU Ilmenau, 2023 Umfang: 1 Online-Ressource (6 Seiten) Sprache: Englisch Identifikator: Entstehung: Anmerkungen: In: Engineering for a Changing World In: Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau ; 60 (Ilmenau) : 2023.09.04-08 In: ilmedia, Ilmenau Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Namensnennung - Weitergabe unter gleichen Bedingungen (CC BY-SA)