Modelling and Design of a Monolithic Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Compatible Front-End-of Line Fin Field-Effect Transistor Micro-Electro-Mechanical-System

Medientyp: E-Book; Hochschulschrift

Titel: Modelling and Design of a Monolithic Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Compatible Front-End-of Line Fin Field-Effect Transistor Micro-Electro-Mechanical-System

Beteiligte: Hudeczek, Richard [Verfasser:in]; Eibert, Thomas F.. [Akademische:r Betreuer:in]; Eibert, Thomas F.. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Hagelauer, Amelie [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Erschienen: München: Universitätsbibliothek der TU München, 2023

Umfang: 1 Online-Ressource

Sprache: Englisch

Identifikator:

Schlagwörter: Hochschulschrift

Entstehung:

Hochschulschrift: Dissertation, München, Technische Universität München, 2023

Anmerkungen:

Zugangsstatus: Freier Zugang

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