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Käseberg, Tim [Verfasser:in] ; Kroker, Stefanie [Akademische:r Betreuer:in]; Zeitner, Uwe Detlef [Akademische:r Betreuer:in] Technische Universität Braunschweig

Optical metrology for resolving topological information of nanoscale structures via modified Mueller matrix ellipsometry

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  • Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
  • Titel: Optical metrology for resolving topological information of nanoscale structures via modified Mueller matrix ellipsometry
  • Beteiligte: Käseberg, Tim [Verfasser:in]; Kroker, Stefanie [Akademische:r Betreuer:in]; Zeitner, Uwe Detlef [Akademische:r Betreuer:in]
  • Körperschaft: Technische Universität Braunschweig
  • Erschienen: Braunschweig: Technische Universität Braunschweig, 2024
  • Erschienen in: PTB-Bericht ; 4
  • Umfang: 1 Online-Ressource (PDF-Datei: 79 MB)
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.7795/110.20240308
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2023
  • Anmerkungen: Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache
  • Zugangsstatus: Freier Zugang