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Medientyp: Buch; Konferenzbericht Titel: Proceedings of the Smposium on Process Control, Diagnostics and Modelling in Semiconductor Manufacturing Weitere Titel: Nebent.: Process Control, Diagnostics and Modelling in Semiconductor Manufacturing Beteiligte: Meyyappan, Meyya [Herausgeber:in] Körperschaft: Electrochemical Society, Electronics Division ; Electrochemical Society, Dielectric Science and Technology Division Erschienen: Pennington, NJ: Electrochemical Society, 1995 Erschienen in: Electrochemical Society: Proceedings volume ; 95,2 Umfang: X, 630 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 1566770963 RVK-Notation: VG 8008 : Kongresse, Tagungsberichte, Fortbildungslehrgänge, Symposien Schlagwörter: Halbleitertechnologie Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Proceedings volume