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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchung des selektiven Wolfram-CVD-Prozesses zur Viafüllung Beteiligte: Schulz, Stefan E. [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 1997 Erschienen in: Berichte aus der Halbleitertechnik Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: X, 207 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3826526465 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Wolfram > Dünne Schicht > CVD-Verfahren Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 1997 8 052370 001 Barcode: 10362031 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden