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Medientyp: Buch Titel: Polycrystalline silicon for integrated circuits and displays Beteiligte: Kamins, Theodore I. [Verfasser:in] Erschienen: Boston [u.a.]: Kluwer Acad. Pub., c 1998 Ausgabe: 2. ed. Umfang: XV, 378 S; Ill., graph. Darst; 25 cm Sprache: Englisch ISBN: 0792382242 RVK-Notation: UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines ZN 3400 : Allgemeines Schlagwörter: Silicium > Polykristall > Integrierte Schaltung Entstehung: Anmerkungen: Includes index