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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchungen zu den Mechanismen des heteroepitaktischen Wachstums von kubischem Siliciumkarbid auf Silicium aus Methyltrichlorsilan Beteiligte: Hofmann, Jens [VerfasserIn] Erschienen: München: Hieronymus, 1998 Erschienen in: Chemie Ausgabe: Als Typoskript gedr Umfang: 156 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3933083508 RVK-Notation: VE 9677 : Dissertationen, Habilitationsschriften, wertvollere und umfangreichere Sonderdrucke Schlagwörter: Siliciumcarbid > Kubisches Gitter > Heteroepitaxie > Schichtwachstum > MOCVD-Verfahren > Trichlorsilanderivate Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1998 Anmerkungen: