Druckmessung mit Oberflächenwellenfiltern sowie resistiven und kapazitiven Dünn- und Dickschichtsensoren

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Druckmessung mit Oberflächenwellenfiltern sowie resistiven und kapazitiven Dünn- und Dickschichtsensoren
Beteiligte: Neumeister, Jochen [Verfasser:in]
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 26200
Ausgabe: Als Ms. gedr.
Umfang: 123 S.; graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 318146208X
Schlagwörter: Drucksensor > Oberflächenwellenfilter
Drucksensor > Dünnschichttechnik
Drucksensor > Dickschichttechnik
Druckmessung > Oberflächenwellenfilter > Dünnschichtsensor > Dickschichttechnik
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1991
Anmerkungen: Zugl.: Stuttgart, Univ., Fak. Elektrotechnik, Diss
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 8

Druckmessung mit Oberflächenwellenfiltern sowie resistiven und kapazitiven Dünn- und Dickschichtsensoren - [Als Ms. gedr.]