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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiN x -Schichten Beteiligte: Roth, Roman [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1996 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 42300 Ausgabe: Als Ms. gedr Umfang: IX, 103 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3183423057 Schlagwörter: Titannitrid > Magnetronsputtern > Plasmadiagnostik Titannitrid > Magnetronsputtern > Dünne Schicht > Oberflächenanalyse Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1995 Anmerkungen: Literaturverz. S. 100 - 103 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5