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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Der Einfluß von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magnetron-gesputterten TiN-Schichten Beteiligte: Berg, Siegfried [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 28000 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VI, 107 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181480053 Schlagwörter: Titannitrid > Magnetronsputtern > Mechanische Eigenschaft > Kontamination > Sauerstoff Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1992 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5