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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden Beteiligte: Kopperschmidt, Pascal [Verfasser:in] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1998 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 51900 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VI, 74 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3183519054 RVK-Notation: UP 3150 : Strukturierte Halbleiter, Mehrlagenschichten, Supergitter, Heterostrukturen und Quantentröge, Quantum wells Schlagwörter: Saphir > Galliumarsenid > Wafer > Mehrschichtsystem > Bonden Saphir > Wafer > Bonden Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Halle, Univ., Diss., 1997 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5