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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Plasmagestütztes CVD mit metallorganischen und analogen Verbindungen Beteiligte: Gebauer, Andreas [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verlag, 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 34400 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: X, 167 S.; graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 318334405X Schlagwörter: Titanorganische Verbindungen > PECVD-Verfahren > Hartstoff > Beschichtung Zirkoniumorganische Verbindungen > PECVD-Verfahren > Hartstoff > Beschichtung Aluminiumorganische Verbindungen > PECVD-Verfahren > Hartstoff > Beschichtung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 5