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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Laserformierte, vertikale Kontakte für mikroelektronische Schaltungen mit redundanten Elementen Beteiligte: Hartmann, Hans-Dieter [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 171 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XIV, 204 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3181471097 RVK-Notation: ZN 5400 : Allgemeines Schlagwörter: Mikroschaltung > Laser > Kontaktieren Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Hannover, Univ., Diss Anmerkungen: Literaturverz. S. 172 - 182 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9