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Medientyp: Buch Titel: Dünnschichttechnologien : Verfahren, Trends, Chancen Körperschaft: Technologiezentrum Physikalische Technologien ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Erschienen in: Sonderpublikation der Zeitschrift Ingenieur-Werkstoffe Umfang: 75 S; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3184011720 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Dünnschichttechnik Dünnschichttechnik Entstehung: Anmerkungen: