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Medientyp: Buch Titel: Atomic layer epitaxy Beteiligte: Suntola, Tuomo [Herausgeber:in] Erschienen: New York: Chapman and Hall, 1990 Glasgow [u.a.]: Blackie [u.a.], 1990 Ausgabe: 1. publ. Umfang: IX, 182 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0216925746; 0412020114 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik UQ 2200 : Epitaxie Schlagwörter: Atomschichtepitaxie Entstehung: Anmerkungen: