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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop Weitere Titel: Nebent.: Positionierelemente Enthält: Literaturverz. S. 107 - 115 Beteiligte: Baumann, Daniel Guy [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 2000 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 1 ; 323 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: XII, 115 S; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 318332301X RVK-Notation: ZQ 5526 : Stellglieder; Aktoren Schlagwörter: Goniometer > Positionierung > Piezoelektrischer Aktor > Durchstrahlungselektronenmikroskop Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss Anmerkungen: ETH Nr. 13267 Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 1