Mechanical atomic force nanolithography for fabrication of high temperature single electron transistors

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Mechanical atomic force nanolithography for fabrication of high temperature single electron transistors
Beteiligte: Hu, Shike [Verfasser:in]
Erschienen: Aachen: Shaker, 2001
Erschienen in: Berichte aus der Elektrotechnik
Umfang: 109 S; Ill., graph. Darst; 21 cm
Sprache: Englisch
ISBN: 3826588797
RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie)
Schlagwörter: Lithografie > Nanostrukturiertes Material > Rasterkraftmikroskopie
Transistor > Einelektronen-Tunneleffekt > Hochtemperaturtechnik > Rasterkraftmikroskopie > Lithografie > Nanostruktur
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
Anmerkungen:

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