Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen
Beteiligte: Dimer, Martin [Verfasser:in]
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 2002
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 65100
Ausgabe: Als Ms. gedr.
Umfang: VIII, 117 S; Ill., graph. Darst; 21 cm
Sprache: Deutsch
ISBN: 318365105X
RVK-Notation: UP 7580 : Amorphe Schichten, einschl. Amorphe Halbleiterschichten
Schlagwörter: Kohlenwasserstoffe > PECVD-Verfahren > Dünne Schicht > Amorpher Zustand > Tribologie
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 5

Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen - [Als Ms. gedr.]