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Medientyp: Buch Titel: Handbook of chemicals and gases for the semiconductor industry Beteiligte: Misra, Ashutosh [VerfasserIn]; Hogan, Jeremiah D. [VerfasserIn]; Chorush, Russell [VerfasserIn] Erschienen: New York; Chichester: Wiley, 2002 Umfang: XIII, 363 S; graph. Darst; 25 cm Sprache: Englisch ISBN: 0471316717 RVK-Notation: UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines ZN 4100 : Allgemeines Schlagwörter: Halbleitertechnologie Halbleitertechnologie > Industriechemikalie Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index