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Medientyp: Buch Titel: Fundamentals of semiconductor fabrication Beteiligte: May, Gary S. [VerfasserIn]; Sze, Simon M. [VerfasserIn]; Sze, S. M. [VerfasserIn] Erschienen: New York; Chichester: Wiley, 2004 Umfang: XIII, 305 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0471452386; 0471232793 RVK-Notation: ZN 4800 : Allgemeines ZN 4154 : Herstellungsverfahren Schlagwörter: Halbleitertechnologie Entstehung: Anmerkungen: